青岛新旭光仪表设备有限公司

扩散炉

低温烘干设备

扩散炉

专门为太阳能电池制造行业设计生产。可满足156mm硅片、200mm硅片要求。自动悬臂推拉系统，载重量17公斤。触摸式工控机操作，全中文界面。进口高精度MFC，自动恒温区标定，控温精度±1℃

尺寸：适用于125mm、156mm、200mm硅片

恒温区长度：1000mm、800mm、600mm、400mm

恒温精度：≤±0.5℃（800℃-1280℃）

恒温区稳定性：≤±0.5℃/24h（800℃-1280℃）

最大降温速率：炉温高于1000℃，6℃/min

炉温高于600℃，3℃/min

降温过程中恒温区的平坦度：在对应的恒温区精度范围内

气源：氮气、氧气。进口MFC自动控制

控制方式：工控机控制、进口触摸屏

推拉舟：悬臂推拉舟，配备进口碳化硅浆，最大载重量17Kg