扩散/氧化炉
炉体加热器
气氛保护隧道炉
烧结、合金设备
控制系统
微控气氛烧结设备
微控气氛烧结设备
该设备用于在氢气下进行还原、合金等工艺,也可以进行氧化工艺。采用进口MFC,自动控制6组工艺气体,进口真空机组,配有安全装置,采用工控机进行控制。可追加悬臂推拉装置,石英腔体口径280mm
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